| 专利名称 | MEMS三轴加速度传感器及其制造方法 | 申请号 | CN201110106037.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102759637A | 公开（授权）日 | 2012.10.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;杨丹琼;徐静;钟少龙 | 主分类号 | G01P15/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/18(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | MEMS三轴加速度传感器及其制造方法 至MEMS三轴加速度传感器及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种MEMS三轴加速度传感器及其制造方法。根据本发明的MEMS三轴加速度传感器包括支撑框体、弹性梁、敏感质量块、下支撑体、栅型敏感电容和引线电极；其中，敏感质量块通过弹性梁悬于支撑框体之间，支撑框体通过键合与下支撑体连接，敏感质量块与下支撑体之间有间隙，敏感质量块上制作了栅型电容的上电极，下支撑体的内表面上制作栅型电容的下电极组，上电极与下电极组错位排列构成一组栅型电容，该组栅型电容从引线电极输出;其中，该组栅型电容包括第一电容、第二电容、第三电容和第四电容，第一电容与第二电容、第三电容与第四电容分别构成差分检测电容，所述MEMS三轴加速度传感器通过电容的运算实现三轴加速度量的同时检测。 |
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