| 专利名称 | 基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器 | 申请号 | CN200910087345.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101923052A | 公开（授权）日 | 2010.12.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 景玉鹏;高超群 | 主分类号 | G01N21/35(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/35(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器 至基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器，通过分析气体的红外吸收谱，确定气体的成分和浓度，该气敏传感器由集成在硅衬底上的红外光源(1)、分析气室(2)、光子晶体滤波器(3)和红外光强检测阵列(4)构成。该传感器利用气体的红外透射信息进行气体检测，通过特征峰的位置判断气体种类，并通过特征波长的吸光度确定气体含量，有效解决现有气敏传感器灵敏度低、检测气体种类有限、抗干扰能力低的问题。且本传感器的制作与CMOS工艺兼容，便于集成、可降低成本并推广使用。 |
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