| 专利名称 | 基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器 | 申请号 | CN200910087344.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101923051A | 公开（授权）日 | 2010.12.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 景玉鹏;高超群 | 主分类号 | G01N21/35(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/35(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器 至基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器，利用气体的红外透射谱确定气体的种类和浓度，该传感器由集成在硅衬底上的红外热光源(1)、光子晶体波导阵列分光器(2)、测量气室(3)、测量气室红外检测阵列(4)、参比气室(5)和参比气室红外检测阵列(6)构成。利用本发明，解决了现有MEMS气敏传感器工艺复杂、寿命有限的问题，具有高灵敏度探测能力，且其制作与CMOS工艺兼容，可批量生产，并通过单元阵列化检测气体浓度梯度。 |
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