| 专利名称 | 偏振光栅自参考自准直二维测角装置 | 申请号 | CN201110006877.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102175184A | 公开（授权）日 | 2011.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 陈旺富;胡松 | 主分类号 | G01B11/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/26(2006.01)I | 专利有效期 | 偏振光栅自参考自准直二维测角装置 至偏振光栅自参考自准直二维测角装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种偏振光栅自参考自准直二维测角装置，包括照明光源、物光栅、分光镜、物镜、被测面、偏振片、石英晶体、参考光栅、第一及第二偏振分光镜、第一及第二光电探测器，物光栅被物镜成像到无穷远处，经被测面反射后再次被物镜成像到物镜焦面上并与参考光栅重合。在参考光栅之前放置有偏振片和石英晶体，石英晶体使得物光栅像分解为两个偏振方向相互垂直的偏振像。透过参考光栅出射后，偏振像被偏振分光镜分离，通过测量两个偏振光分量的相对光强获得被测面的角度变化。采用不同方向的光栅可以测量不同方向的角位移，实现二维测量。本发明测量精度高，信号稳定性高，抗干扰能力强。 |
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