| 专利名称 | 一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途 | 申请号 | CN98100003.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1222549 | 公开（授权）日 | 1999.07.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院化学研究所 | 发明（设计）人 | 杨士勇 | 主分类号 | C09D177/00 | IPC主分类号 | C09D177/00 | 专利有效期 | 一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途 至一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明的聚酰亚胺内涂胶及其制备方法,涉及一 种聚酰亚胺薄膜,该内涂胶中包括有机溶剂(85—95)、芳香族四 酸二酐(5.0—10)、芳香族二胺混合物(1.0—6.0)、以及有机硅分 子量调节剂和增粘剂(0.01—2.0)。本发明的聚酰胺酸内涂胶为 均匀透明的液体,储存稳定性好,可涂覆在单晶硅、SiO2、Al或Ni等金属的表面,经加热固化后制成微电子器件的缓冲内涂膜、芯片保护钝化膜或多层金属互联结构的层间绝缘膜等。 |
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