专利名称 | 一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法 | 申请号 | CN200910080054.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN101840953A | 公开(授权)日 | 2010.09.22 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 贾锐;朱晨昕;陈晨;李维龙;张培文;刘明;刘新宇;叶甜春 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法 至一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法,包括:在晶硅基板正面和背面制备绒面结构;将正面和背面均有绒面结构的晶硅基板放置于扩散炉中进行扩散,形成双面PN结;在晶硅基板正面淀积Si薄膜,退火形成硅纳米晶;在晶硅基板正面淀积金属薄膜,退火形成金属纳米晶;在晶硅基板正面和背面生长Si3N4减反膜;采用丝网印刷在晶硅基板的背面印刷的正电极,并进行热处理固化;然后采用丝网印刷在晶硅基板的正面印刷的负电极,并进行热处理固化;合金退火,制备出表面硅纳米晶和金属纳米晶混合调制晶硅太阳能电池。本发明通过表面硅纳米晶和金属纳米晶混合调制方式,充分地转换短波长范围内的光,使其被晶硅电池吸收,达到高效转换的目的。 |
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