一种用于超高真空测试的送样装置

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专利名称 一种用于超高真空测试的送样装置 申请号 CN201110141894.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102809661A 公开(授权)日 2012.12.05 申请(专利权)人 中国科学院电子学研究所 发明(设计)人 徐长有;赵世柯;邓峰 主分类号 G01N35/10(2006.01)I IPC主分类号 G01N35/10(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I 专利有效期 一种用于超高真空测试的送样装置 至一种用于超高真空测试的送样装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种用于超高真空测试的送样装置,涉及真空测试技术,包括真空罐、样品座、样品固定销钉、送样杆、样品连接杆、连接螺钉、样品连接头、插板阀;真空罐主体轴向一端为观察窗,径向有垂直腔、水平腔,水平腔中部有插板阀;插板阀左侧为超高真空区,右侧为低真空区,两真空区有抽气装置;待测样品由样品固定销钉固定在样品座上表面,连接螺钉将左侧的样品连接杆与样品连接头可分开的固接,样品座与样品连接头固接,位于真空腔内;样品连接杆、样品连接头、样品座、送样杆成一字水平设置,共轴线。本发明的用于超高真空测试的送样装置,结构简单,易于制造,送样可靠,可应用于各种真空测试与分析设备。

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