| 专利名称 | 燃料电池的MEMS制造方法 | 申请号 | CN201110133383.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102800879A | 公开（授权）日 | 2012.11.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李春龙;赵超 | 主分类号 | H01M8/10(2006.01)I | IPC主分类号 | H01M8/10(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 燃料电池的MEMS制造方法 至燃料电池的MEMS制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种燃料电池的MEMS制造方法，包括：步骤A，提供衬底；步骤B，在所述衬底上同时形成阳极和阴极，以构成燃料电池的极板；步骤C，将所述燃料电池的极板与质子交换薄膜层叠，压合组装形成燃料电池。依照本发明的燃料电池的MEMS制造方法，集成燃料电池阳极、阴极板在同一硅片上，因此本发明工艺简单、构造简洁、便于组装。 |
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