采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法

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专利名称 采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法 申请号 CN201210370393.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102879182A 公开(授权)日 2013.01.16 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 李锐钢;张斌智;王孝坤;郑立功;张学军 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法 至采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法,涉及光学非球面制造过程中精确控制偏心量的方法,它解决现有方法对光学表面的检测精度和可靠性低、难于实现大口径元件测量,并且无法测量离轴非球面元件偏心量的问题,本发明方法首先用激光跟踪仪测量补偿器的基准面信息,通过计算获得光轴基准数据;然后用激光跟踪仪测量待检非球面的基准面信息,通过计算获得非球面中心的实测数据;最后与光轴基准相比较得到偏心量数据。本发明所述的方法操作简便、数据处理简明、通用性好。

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