一种坩埚下降法单晶生长炉及其应用

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专利名称 一种坩埚下降法单晶生长炉及其应用 申请号 CN201110054634.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102127804A 公开(授权)日 2011.07.20 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 李红军;胡克艳;徐军;郭鑫;苏良碧;陈伟超;钱小波;唐慧丽 主分类号 C30B11/00(2006.01)I IPC主分类号 C30B11/00(2006.01)I 专利有效期 一种坩埚下降法单晶生长炉及其应用 至一种坩埚下降法单晶生长炉及其应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种坩埚下降法单晶生长炉,包括设有密闭腔体的炉体、坩埚和垂直移动机构,所述炉体的炉底板以及炉底板内侧的保温层上开有中心孔,中心孔与密闭腔体贯通,所述垂直移动机构穿过中心孔并沿炉体的中心轴上下移动;所述垂直移动机构与炉体密闭连接时,其伸入密闭腔体的一端位于密闭腔体的上端并与坩埚连接固定。采用本发明的坩埚下降法单晶生长炉,可有效避免坩埚进出料时对保温层和发热体的触动,消除炉体的温场不稳定因素,提高单晶生长炉的可靠性,延长其使用寿命,有效提高晶体生长的稳定性、可靠性和重复性,及降低晶体的生长成本,可以适用于多种晶体的生长。

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