| 专利名称 | 一种高价离子源的调制装置 | 申请号 | CN201120533756.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202487529U | 公开（授权）日 | 2012.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李海洋;赵无垛;曲丕丞;王卫国;花磊 | 主分类号 | H01J49/14(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/14(2006.01)I;H01J49/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高价离子源的调制装置 至一种高价离子源的调制装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种高价离子源的调制装置，包括高价离子源、聚焦透镜、调速电极组、高价离子引出电极组、样品靶。高价离子通过激光与团簇相互作用产生，利用聚焦透镜将高价离子会聚于样品靶上，同时利用调速电极对高价离子的能量进行调节。 |
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