| 专利名称 | 集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用 | 申请号 | CN201110003989.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102103263A | 公开（授权）日 | 2011.06.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;李四华 | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用 至集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及其在波长选择开关中的应用，其集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器15由单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器14阵列化排布获得。单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器14由下电极结构11，中间电极结构12和上电极结构13共三个独立结构构成。其三个独立结构又由以下功能部件构成：悬臂梁1、台阶下电极2、台阶下电极引线锚点3、X轴转动方向基底镜面4、X轴转动方向基底镜面的限位凸点5、X轴转动方向基底镜面的限位平面6、Y轴信号衰减方向的可动上镜面7、Y轴信号衰减方向的固定上镜面8、Y轴信号衰减方向的镜面支撑锚点9、Y轴信号衰减方向的镜面支撑锚点10。 |
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