| 专利名称 | 一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法 | 申请号 | CN201210390365.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102889980A | 公开（授权）日 | 2013.01.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 朱咸昌;伍凡;曹学东;吴时彬 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法 至一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法，属于光学检测技术领域，该方法利用郎奇光栅的0级和1级衍射光干涉产生的条纹完成对微透镜的定焦测量：平行光经过郎奇光栅时，由于光栅的衍射效应产生0级和1级衍射光斑；根据衍射光波前相位变化，当光栅位于微透镜焦面上时，光斑重叠区域没有干涉条纹；当光栅位于离焦位置时，光斑重叠区域将由于位相差异产生干涉条纹；通过不同离焦位置的条纹周期变化，即可计算光栅的离焦量从而完成微透镜的定焦测量。本发明根据物理光学理论，定量分析光栅离焦量与条纹周期的关系，通过光栅在焦前和焦后两次离焦时条纹周期的不同，计算两次离焦量，从而完成微透镜及其阵列元件的定焦。 |
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