| 专利名称 | 薄膜光热性能的测量装置和测量方法 | 申请号 | CN201110350735.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102393370A | 公开（授权）日 | 2012.03.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐俊海;赵元安;范正修 | 主分类号 | G01N21/31(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/31(2006.01)I | 专利有效期 | 薄膜光热性能的测量装置和测量方法 至薄膜光热性能的测量装置和测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种薄膜光热性能的测量装置和测量方法。本发明是在原有的表面热透镜技术的基础上，通过改变泵浦光束的调制频率，来获取探测信号的幅值和相位信号随频率的变化关系。将此关系与理论模型的计算结果对比后，可以得到薄膜内部的一些重要信息。本发明不仅能够测量薄膜的吸收率，还可以测量出单层膜的热导率以及一些强吸收杂质的深度分度，因此可以对薄膜的光热性能做出全面的评价，对优化镀膜工艺和探寻损伤机制等方面都有较大的辅助作用。 |
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