一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统

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专利名称 一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统 申请号 CN200920034604.2 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201497829U 公开(授权)日 2010.06.02 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 王虎;张向辉;刘杰;解永杰;苗兴华;丰善;汶德胜;王锋 主分类号 G02B13/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B13/00(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I 专利有效期 一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统 至一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统,该光学系统包括第一负透镜、第二负透镜、第一正透镜、光阑、第二正透镜以及第三负透镜,第一负透镜、第二负透镜、第一正透镜、光阑、第二正透镜以及第三负透镜依次设置于同一光路上;本实用新型提供了一种适应范围广、近半球视场、有利于系统像差的校正、具有较低的f-θ畸变和较均匀的像面照度、可有效降低静电吸附灰尘以及无渐晕的超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统。

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