| 专利名称 | 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 | 申请号 | CN200910217806.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101733560A | 公开（授权）日 | 2010.06.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 孙继凤;刘立峰;郭晓光;汤建华;田兴志 | 主分类号 | B23K26/42(2006.01)I | IPC主分类号 | B23K26/42(2006.01)I | 专利有效期 | 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 至激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法，属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术，对系列激光脉冲串的首脉冲或前几个脉冲能量进行抑制，使其等于或低于后续稳定的激光脉冲的能量。采用能量相同的激光脉冲串进行调阻，可获得边缘光滑、无龟裂、无缺损的优质光刻切槽。提高了激光调阻后的阻值稳定性和可靠性，从而提高了激光调阻的片阻品质，尤其针对小尺寸片阻，采用该控制方法的效果更明显。 |
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