| 专利名称 | 一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法 | 申请号 | CN201210374589.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102878940A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 | 发明（设计）人 | 徐鹏;王林梓;刘涛;刘健鹏;李国光 | 主分类号 | G01B11/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/06(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I;G01J4/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法 至一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种对椭偏测量系统中包含相位补偿器的椭圆偏振仪的偏振角度、相位补偿器的相位延迟角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据实验傅里叶系数，光学常数，以及，推导得到的理论傅里叶系数与椭圆偏振仪的工作参数之间的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到包含相位补偿器的椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对包含相位补偿器的椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向、相位补偿器的延迟角度，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。 |
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