| 专利名称 | 一种物理气相沉积加热系统过流保护装置 | 申请号 | CN200810228478.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101724824A | 公开（授权）日 | 2010.06.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 王学研;徐英凤 | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/54(2006.01)I | 专利有效期 | 一种物理气相沉积加热系统过流保护装置 至一种物理气相沉积加热系统过流保护装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，包括过流检测电路，通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断；工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。本发明具有延时触发功能，避免了在加温过程中加热电流的反复波动，减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反复变化，引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。 |
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