| 专利名称 | 基于微机电技术制作声表面波相关器的方法 | 申请号 | CN200810224904.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101729035A | 公开（授权）日 | 2010.06.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李昊峰;贾锐;李维龙;陈晨;朱晨昕 | 主分类号 | H03H3/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H3/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于微机电技术制作声表面波相关器的方法 至基于微机电技术制作声表面波相关器的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。利用本发明制作的声表面波相关器，具有体积小，制作工艺简单，反应迅速，且易与集成电路工艺集成的特点，而且叉指换能器的特殊设计大大减小了噪声干扰。 |
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