| 专利名称 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 | 申请号 | CN200910217899.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101718958A | 公开（授权）日 | 2010.06.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 孙继凤;刘立峰;王忠生;汤建华;田兴志 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 至绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角，经偏转后的激光再传送给聚焦透镜，激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是，采用非线性像差补偿校正算法，根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度，补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差，解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题，实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障