| 专利名称 | 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法 | 申请号 | CN200910198994.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101712451A | 公开（授权）日 | 2010.05.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 许鹏程;李昕欣;陈滢;于海涛;刘民 | 主分类号 | B81C99/00(2010.01)I | IPC主分类号 | B81C99/00(2010.01)I | 专利有效期 | 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法 至在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium?salt；25％)或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸钠盐水溶液(N-(Trimethoxysilypropyl)ethylenediamine?triacetic?acid，trisodium?salt；45％)为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应10-100小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。 |
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