| 专利名称 | 用于重离子辐照器件的多维定位装置 | 申请号 | CN200920000952.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201444164 | 公开（授权）日 | 2010.04.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究 | 发明（设计）人 | 侯明东;姚会军;刘杰 | 主分类号 | G01R1/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R1/02(2006.01)I | 专利有效期 | 用于重离子辐照器件的多维定位装置 至用于重离子辐照器件的多维定位装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种用于重离子辐照器件的定位装置。一种用于重离子辐照器件的多维定位装置，包括有工作台(1)，其上设有底座(3)，其主要特点是在底座(3)上设有与工作台(1)垂直的滑轨(2)；在滑轨(2)上设有升降工作台(5)。本实用新型的优点是在重离子辐照实验中，快速地根据预先测定好的位置进行定量的切换定位装置，实现了在重离子辐照实验中微电子器件的三维平动和一维转动。对于采集数据和获得数据的质量以及提高实验效率、节省束流时间具有重要的意义。操作简单方便，位置精度高，结构新颖、简单并实现了定量调整和控制，为今后进一步实现计算机自动控制打下了结构基础。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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