| 专利名称 | 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构 | 申请号 | CN200910237660.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101710204 | 公开（授权）日 | 2010.05.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 王建;胡松;赵立新;邢薇 | 主分类号 | G02B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构 至一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框及镜筒上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微头安装在镜筒中并与物镜光轴垂直，弹性导向机构安装在镜片框的侧面，导向柱底座与镜片框的接触面为弹性导向机构；滑块镶嵌在导向柱底座上的导向柱中。本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的偏心调整，以达到镜片中心偏公差的要求，提高了各透镜对轴心装调精度，克服了因镜片偏心对像质产生不良影响，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。 |
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