| 专利名称 | 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构 | 申请号 | CN200910237659.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101702051 | 公开（授权）日 | 2010.05.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 赵立新;胡松;王建;邢薇 | 主分类号 | G02B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构 至一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框中，它包括调节螺栓座、调节螺栓、传动弹簧、传动杠杆、镜片保护夹；调节螺栓被固定在位于镜片框上端的调节螺栓座上，调节螺栓的前端为锥型，传动弹簧的上端套在调节螺栓的前锥端，传动弹簧的下端挂在传动杠杆上，传动杠杆的后端被固定在镜片框上，传动杠杆的前端顶在位于镜片边缘的镜片保护夹的下方。本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的倾斜调整，以达到镜片倾斜公差的要求，提高了各镜片的装调精度，克服了因镜片倾斜对像质产生的不良影响，保证了光刻质量。 |
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