专利名称 | 制备CIS薄膜及器件的非真空液相化学法合成方法 | 申请号 | CN200910152060.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN101694854A | 公开(授权)日 | 2010.04.14 | 申请(专利权)人 | 中国科学技术大学 | 发明(设计)人 | 朱长飞;罗派峰;杨文兵;江国顺 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 制备CIS薄膜及器件的非真空液相化学法合成方法 至制备CIS薄膜及器件的非真空液相化学法合成方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出一种制备铜铟硒CIS薄膜的非真空液相化学法合成方法,包括以下步骤:制备前驱体料浆;利用所述前驱体料浆制备预制膜;硒化所述预制膜,得到黄铜矿结构的CIS薄膜。并且,利用本发明制备出的所述CIS薄膜成功制备出了电池器件。通过本发明可大面积均匀成膜,生产成本低,制程简单,易于大规模工业化生产,对CIS薄膜太阳能电池的发展具有重要推动作用。 |
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