| 专利名称 | 用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 | 申请号 | CN200920107674.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201427858 | 公开（授权）日 | 2010.03.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 景玉鹏;惠瑜;高超群 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 至用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，该 装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、 主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器 (1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和 分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)， 分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环 回路。利用本实用新型，有效地解决了牺牲层释放工艺中的粘连效应。同 时，二氧化碳在相态转换时压力可调，消除了有机置换液凝固时的涨裂现 象。二氧化碳的使用更加绿色环保，无有机污染，节约资源。 |
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