| 专利名称 | 平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器 | 申请号 | CN201210407660.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102866497A | 公开（授权）日 | 2013.01.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 庄须叶;张建飞;姚军;邱传凯;周崇喜 | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 专利有效期 | 平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器 至平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器，微桥部的桥面作为法布里珀罗腔的上电极；光栅位于微桥部的桥面的中央处；基底为最下层；多个下电极，平行对称的分布在微桥部的下面，分别固定在两个绝缘层上面；两个绝缘层覆盖在基底上，将多个下电极与上电极之间的电绝缘；两个矩形孔位于微桥部的两边；前腔面位于光栅的区域所对应桥面的下表面；后腔面位于光栅下方的在两绝缘层之间的基底的上表面，用作法布里珀罗腔的后腔面；在多个下电极和上电极之间加入不同的电压并形成复杂的静电场，使法布里珀罗腔的可动腔面向下移动的过程中，调整可动腔面的形貌，用于调整法布里珀罗腔前腔面与后腔面之间的平行度。 |
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