| 专利名称 | LED光学特性检测方法及检测装置 | 申请号 | CN201110191200.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102865999A | 公开（授权）日 | 2013.01.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 陈鲁;夏洋;张超前;张学一 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01R31/44(2006.01)I | 专利有效期 | LED光学特性检测方法及检测装置 至LED光学特性检测方法及检测装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置，方法包括：提供激光光源；提供光栅，将光栅放置在激光光源的光路上；在光栅背后放置LED，使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离，在LED有源层上形成光栅自成像，光栅自成像包括阵列式排布的照明点；采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发产生的荧光。装置包括：激光光源，用于提供相干光束；光栅，用于在接收相干光束时形成光栅自成像；平台，用于承载待检测的LED，使LED有源层与光栅距离为泰伯距离，在LED有源层上形成光栅自成像，光栅自成像包括阵列式排布的照明点；采集器，用于采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发而形成的荧光。本发明检测精度较高。 |
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