| 专利名称 | 一种畸变测试仪 | 申请号 | CN200810151034.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101676704 | 公开（授权）日 | 2010.03.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 赵建科;张周锋;周艳;王锋;王虎;昌明 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种畸变测试仪 至一种畸变测试仪 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种畸变测试仪，包括转台，该测试仪还包括光源以及显微成 像系统；光源以及显微成像系统处于同一光轴上并置于转台两侧。本发明提供 了一种测量精度高、效率高、结构稳定且功能可以扩展的畸变测试仪。 |
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