一种制备石墨烯的方法

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专利名称 一种制备石墨烯的方法 申请号 CN201110026532.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102161482A 公开(授权)日 2011.08.24 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 刘云圻;陈建毅;黄丽平;武斌;薛运周;耿德超;于贵 主分类号 C01B31/04(2006.01)I IPC主分类号 C01B31/04(2006.01)I 专利有效期 一种制备石墨烯的方法 至一种制备石墨烯的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种制备石墨烯的方法。该方法,包括如下步骤:1)将基底在非氧化性气氛中升温至800-1200℃保持10-20分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的基底上进行反应,反应完毕关闭碳源,在非氧化性气氛下冷却到室温得到所述石墨烯。该石墨烯可以为离散的纳米薄片,也可以为连续的石墨烯膜。在石英基底上生长石墨烯可以直接用于高性能透明导电电极。在带有二氧化硅层的硅基底上生长石墨烯,不需要转移可直接用于电子器件组装,工艺简单,并且和现有半导体工业兼容。

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