| 专利名称 | 激光调阻机探针保护装置 | 申请号 | CN200910217998.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101710511 | 公开（授权）日 | 2010.05.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘立峰;孙继凤;张德龙;汤建华;吴玉斌 | 主分类号 | H01C17/242(2006.01)I | IPC主分类号 | H01C17/242(2006.01)I | 专利有效期 | 激光调阻机探针保护装置 至激光调阻机探针保护装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及对激光调阻机的改造，具体涉及一种激光调阻机探针保护装置，包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电器，所述的继电器串联在运动控制器与光刻平台电机驱动器的控制电路上，当探针架处于下压位置时，所述的光电反射式传感器输出高电平，继电器断开；当探针架处于上抬位置时，光电反射式传感器输出低电平，继电器闭合。即使在运动控制器失控的情况下，也能确探针不被撞伤，从根本上避免了探针撞伤事故，进一步提高了激光调阻机工作的可靠性。 |
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