| 专利名称 | 一种多层石墨烯的减薄方法 | 申请号 | CN201210382524.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102931055A | 公开（授权）日 | 2013.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 罗巍;解婧;李超波;夏洋 | 主分类号 | H01L21/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多层石墨烯的减薄方法 至一种多层石墨烯的减薄方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种多层石墨烯的减薄方法，属于石墨烯器件制备技术领域。所述方法包括：将多层石墨烯样品放入等离子体浸没离子注入设备的腔室内；调整等离子体浸没离子注入设备的工艺参数达到预设定的工作范围，向等离子体浸没离子注入设备通入惰性气体；利用等离子体浸没离子注入技术，对多层石墨烯样品逐层溅射减薄；在保护气的作用下，将减薄后的石墨烯样品放入高温退火炉中退火，并冷却至室温。本发明提供的多层石墨烯的减薄方法，能够对多层石墨烯的厚度进行精确调整，尤其是能够对任意厚度的石墨烯进行减薄处理。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障