| 专利名称 | 光刻照明用光瞳整形装置 | 申请号 | CN201210500655.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102929107A | 公开（授权）日 | 2013.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 陈明;朱菁;杨宝喜;曾爱军;黄惠杰;胡中华;李璟 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻照明用光瞳整形装置 至光刻照明用光瞳整形装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻照明用光瞳整形装置，其特点在于包括转盘机构、连续变焦透镜组和控制器，所述的转盘机构沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件，沿光刻机照明系统中产生的方形的入射光束方向依次是所述的转盘机构的衍射光学元件和连续变焦透镜组，所述的衍射光学元件位于所述的连续变焦透镜组的前焦面并垂直于装置的光轴，所述的控制器通过编码器精确控制所述的转盘机构的旋转和所述的衍射光学元件的移动，调节所述的连续变焦透镜组的焦距，在所述的连续变焦透镜组的像方焦面即光瞳面上形成所需的照明光瞳分布。本发明具有光学系统简单、光学透过率高、能克服现有光瞳整形装置因锥形镜组引入的光瞳劣化问题。 |
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