一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪及控制方法

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专利名称 一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪及控制方法 申请号 CN201210405626.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102914864A 公开(授权)日 2013.02.06 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 刘豪;胡以华;舒嵘;洪光烈;葛烨;郑龙 主分类号 G02B26/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B26/00(2006.01)I 专利有效期 一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪及控制方法 至一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪及控制方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪及控制方法,其特征为内部的腔长扫描压电陶瓷上附着了应变片作为反馈,通过反馈信号对压电陶瓷进行闭环控制,这样可以改善压电陶瓷的非线性及磁滞效应对FP腔的影响,提高系统精度。

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