一种反射率综合测量方法

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专利名称 一种反射率综合测量方法 申请号 CN201010608932.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102169050A 公开(授权)日 2011.08.31 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 李斌成;曲哲超;韩艳玲 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种反射率综合测量方法 至一种反射率综合测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种反射率综合测量方法,步骤为:连续入射激光束被分束为参考光束和探测光束,参考光束被聚焦到光电探测器直接探测,探测光束注入光学谐振腔。在测量反射率大于99%的光学元件时采用光腔衰荡技术,分别测量初始光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ0和加入待测光学元件后的测试光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ1,计算得到待测光学元件反射率R。在R值小于99%时采用分光光度技术测量待测光学元件反射率。移走输出腔镜,从测试镜反射的探测光被聚焦到光电探测器探测,同时记录探测光束和参考光束光强信号比值,通过定标进而得待测光学元件反射率R。该反射率测量装置可测量任意反射率光学元件,而且可对大口径光学元件反射率分布实现高分辨二维成像。

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