| 专利名称 | 一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置 | 申请号 | CN201110096649.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102168666A | 公开（授权）日 | 2011.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲 | 主分类号 | F04B39/16(2006.01)I | IPC主分类号 | F04B39/16(2006.01)I;F04B49/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置 至一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置。所述的保护装置包括金属波纹管(8)、截止阀(9)、两组过滤器(10)和压力检测装置(11)。两组过滤器(10)并联，过滤器(10)进气口的一端通过截止阀(9)与金属波纹管(8)相连，过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级真空泵(12)相连，每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9)，每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11)，金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。 |
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