用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法

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专利名称 用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 申请号 CN201010612523.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102168944A 公开(授权)日 2011.08.31 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王渤帆;李中梁;王向朝;步扬 主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;G01S17/32(2006.01)I 专利有效期 用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 至用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法,该双频激光干涉仪的结构包括光源、光纤耦合器、隔离器、准直器、光电探测器、压电陶瓷、数据采集卡和计算机。所述的光源是两个波长不相等的半导体激光器,且带有光源控制器;光电探测器将接收到的干涉信号转换成电信号输入到数据采集卡内,并通过计算机进行数据处理得到待测距离。本发明干涉仪将线性调频技术与正弦相位调制干涉测量技术相结合,扩大了测量范围,利用相关参数通过求解线性方程组计算干涉信号的相位,从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差,提高了测量精度。

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