一种电阻型随机存储器的存储单元及其制备方法

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专利名称 一种电阻型随机存储器的存储单元及其制备方法 申请号 CN200910100140.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101599530 公开(授权)日 2009.12.09 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 李润伟;诸葛飞;何聪丽;刘兆平;周旭峰 主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I;G11C11/56(2006.01)I 专利有效期 一种电阻型随机存储器的存储单元及其制备方法 至一种电阻型随机存储器的存储单元及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种电阻型随机存储器的存储单元及其制备方法,该存储单元包括绝缘 衬底,绝缘衬底表面设置第一电极,第一电极表面上设置具有电阻转变特性材料制成的 中间层,中间层的表面设置第二电极,其特征在于:所述中间层由氧化石墨烯薄膜形成, 中间层的厚度范围为1~200nm。与现有技术相比,本发明的优点在于:中间层不采用 氧化物材料,而是采用氧化石墨烯薄膜,这种结构的电阻型随机存储器在直流电压连续 扫描激励下表现出优异的高低阻态之间的转变和记忆特性,其高低电阻态间的差值可大 于80倍,所有器件的擦写均不需要电形成过程,这些特性表明本发明在非挥发性存储 器件领域具有潜在的应用价值。

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