| 专利名称 | 一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法 | 申请号 | CN200910098711.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101550539 | 公开（授权）日 | 2009.10.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 汪爱英;孙丽丽;代伟;吴国松 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法 至一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法，所采用的镀膜机包括真空 室、磁控溅射源、线性离子源和兼具公转和自转的工件托架，工件托架安装在真空室内 部，其特征在于：包括如下步骤：(1)将陶瓷阀芯在酒精、丙酮溶液中进行超声清洗， 干燥后，悬挂固定于工件托架上，使磁控溅射源与线性离子源环绕在陶瓷阀芯周围；(2) 在磁控溅射源上安装由过渡金属制成的金属靶，对陶瓷阀芯进行离子轰击；(3)开启磁 控溅射源电源，对陶瓷阀芯进行第一层薄膜沉积；(4)启动线性离子源，对陶瓷阀芯进 行第二层薄膜沉积；(5)对陶瓷阀芯进行第三层薄膜沉积。本发明通过对陶瓷阀芯进行 三层防护薄膜沉积，可以极大幅度地提高陶瓷阀芯的耐磨密封性能和使用寿命。 |
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