| 专利名称 | 测量材料表面电荷密度的方法 | 申请号 | CN200810100820.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101515003 | 公开（授权）日 | 2009.08.26 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 戚桂村;杨延莲;严昊;关丽;裘晓辉;王琛 | 主分类号 | G01R19/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R19/08(2006.01)I;G01R25/02(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I;G01N13/10(2006.01)I | 专利有效期 | 测量材料表面电荷密度的方法 至测量材料表面电荷密度的方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种基于扫描探针显微镜导电针尖的测量材料表面电 荷密度的方法，包括：a)对待测材料样品表面形貌进行扫描；b)测量驱 动针尖振荡的激励交变信号与针尖实际振荡信号之间的相位角差值Δθ以 及相对应的针尖偏压Vt；c)根据Δθ和Vt的关系，对步骤b)得到的Δθ和 Vt进行拟合，得到索引指数；d)根据步骤c)获得的索引指数，在基于Δθ 和Vt的关系的校准曲线中查找所述索引指数所对应的表面电荷密度；所述 校准曲线为标准样品表面电荷密度δs与系数a1的关系曲线。本发明克服了 现有技术对针尖几何形状建立简单模型的困难，不必再考虑针尖的具体几 何形状，使得测量简单，操作简便，对于研究纳米器件和纳米结构的功能 有非常重要的意义。 |
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