| 专利名称 | 一种真空原子力显微镜及其使用方法 | 申请号 | CN200910030522.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101625303 | 公开（授权）日 | 2010.01.13 | 申请（专利权）人 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 秦华;刘争晖;钟海舰;樊英民;徐科 | 主分类号 | G01N13/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N13/16(2006.01)I;G12B21/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空原子力显微镜及其使用方法 至一种真空原子力显微镜及其使用方法 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种真空原子力显微镜及其使用方法，属于微观形貌检测设 备领域，其包括电子束发射装置、二次电子探测器、带悬臂梁的探针、压电陶 瓷扫描器和反馈控制器。工作时，将电子束照射于探针悬臂梁上，由于探针与 样品原子之间的作用力而引起悬臂梁的形变，将产生二次电子信号的变化，通 过对该信号进行反馈可控制针尖和样品之间处于恒定作用力，针尖在样品表面 逐点扫描，可对样品表面形貌成像。本发明无需引入目前常用的光杠杆系统， 克服了常规原子力显微镜应用于真空环境下带来的设计困难，综合两种纳米材 料表征手段即原子力显微镜和电子显微镜的优势，可实现对材料从毫米尺度到 亚纳米尺度精度的连续测量。 |
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