| 专利名称 | 多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法 | 申请号 | CN200910030342.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101592627 | 公开（授权）日 | 2009.12.02 | 申请（专利权）人 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 苏瑞巩;张蓓蓓;李宁;程国胜 | 主分类号 | G01N27/414(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/414(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法 至多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明提供一种多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法，首先基于 SOI硅片采用自上而下方法制作硅纳米线FET场效应管；继而利用聚二甲 基硅氧烷(PDMS)制作出多微流体通道；最后对不同微流体通道中的硅纳 米线进行修饰改性，使之修饰上不同的检测抗体或小分子，以检测不同的 目标分子。该方法制作的传感器可以用来同时检测不同类型的疾病相关因 子(如DNA，RNA，蛋白等)或病毒，具有高灵敏度、稳定、易于集成等 特点。 |
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