| 专利名称 | 一种光刻机掩模刀口移动装置 | 申请号 | CN201010200465.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101887218A | 公开（授权）日 | 2010.11.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邢薇;胡松;赵立新;罗正全;马平;徐文祥 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光刻机掩模刀口移动装置 至一种光刻机掩模刀口移动装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机掩模刀口移动装置，采用双层单元、两组独立组件结构，由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成，X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动，Y向狭缝刀口移动装置实现Y方向上下独立平动；X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置装配叠加后分别实现X方向左右、Y方向上下的平动；X向狭缝刀口移动装置或Y向狭缝刀口移动装置由两个刀片夹、两个精密滚珠丝杠、两个丝杠螺母、两个带动杆、两个电机、两个联轴节、两个光栅、一台计算机和一个掩模台组成。本发明能够实现掩模不同位置、并形状大小可自动控制调节的照明区域。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障