| 专利名称 | 低频振动测量装置 | 申请号 | CN200910106373.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101526394 | 公开（授权）日 | 2009.09.09 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 彭本贤;俞挺;于峰崎 | 主分类号 | G01H11/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01H11/06(2006.01)I;G01V1/20(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I | 专利有效期 | 低频振动测量装置 至低频振动测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种低频振动测量装置，包括振动传感器和CMOS芯片，所述 振动传感器集成在所述CMOS芯片上，所述振动传感器是包含敏感单元的微电 子机械系统(MEMS)，其中敏感单元包括含有空气栅介质和浮栅的场效应管， 与浮栅相对设置有感应振动的包含有金属栅极的质量块，质量块的振动引起浮 栅与金属栅极间耦合电容的变化，导致场效应管漏极电流变化，通过测量电流 就可以获知振动信息，此外利用浮置的栅极与漏极的耦合电容增加跨导，从而 提高灵敏度，达到测量低频振动的目的。 |
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