| 专利名称 | 一种真空隔断阀 | 申请号 | CN200910088045.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101604609 | 公开（授权）日 | 2009.12.16 | 申请（专利权）人 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 发明（设计）人 | 刘亚琪;孙占峰 | 主分类号 | H01J37/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/02(2006.01)I;F16K3/18(2006.01)I;F16K3/316(2006.01)I;F16K31/124(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空隔断阀 至一种真空隔断阀 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种真空隔断阀，包括驱动杆，驱动杆前端滑动地设置在阀体内腔中； 密封板，具有设有密封介质的密封面，设置在阀体内腔中，能够与在阀体内 腔中的真空通道内端成型的端口周围内壁结合或脱离，以封闭或导通真空通 道；驱动机构，设置在驱动杆与密封板之间，用于驱动密封板靠近或远离所 述端口；还包括移动方向限制机构，设置在阀体与密封板之间，用于引导密 封板在靠近端口周围内壁的移动部分，沿垂直于所述端口周围内壁的方向运 动，限制密封面与端口周围内壁之间的相对滑动。采用移动方向限制机构， 有效避免隔断或打开时密封部件间的磨擦位移，减少磨损，杜绝划伤，驱动 杆强度高不弯曲持久耐用，有效降低维护维修成本，保障电镜性能与安全。 |
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