| 专利名称 | 硅基复合介质模斑转换器及其制备方法 | 申请号 | CN201010574449.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102486550A | 公开（授权）日 | 2012.06.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 杨成樾;周静涛;张慧慧;刘焕明 | 主分类号 | G02B6/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/14(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I | 专利有效期 | 硅基复合介质模斑转换器及其制备方法 至硅基复合介质模斑转换器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种硅基复合介质模斑转换器及其制备方法。该模斑转换器在沿光传输方向上交替由硅和氧化硅两种材料按不同的组分比例排列在一起，构成周期结构。通过两种材料组分比例的变化实现模斑转换器等效折介质射率的变化，进而实现光斑模场从光纤端到硅微纳波导端的逐渐转变。该复合介质模斑转换器具有波长不敏感的性质，且其制作方法能够更好的与传统工艺相兼容，可重复制作性高。 |
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