| 专利名称 | 红外传感器开关器件及其制作方法 | 申请号 | CN201010572107.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102480285A | 公开（授权）日 | 2012.05.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘瑞文;焦斌斌;李志刚;陈大鹏 | 主分类号 | H03K17/78(2006.01)I | IPC主分类号 | H03K17/78(2006.01)I | 专利有效期 | 红外传感器开关器件及其制作方法 至红外传感器开关器件及其制作方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于微细加工技术的、利用双材料梁的残余应力来进行工作的红外传感器开关器件及其制作方法，所述制作方法首先提供一个衬底；然后在所述衬底上淀积并刻蚀形成金属梁，以形成第一电极；接着在所述结构上淀积形成牺牲层；以及在所述牺牲层上方依次淀积金属和非金属材料，刻蚀并释放形成双层材料悬臂梁，以形成可与所述第一电极接触的第二电极，所述双材料悬臂梁的下层金属材料应具有张应力，所述双材料悬臂梁的上层非金属材料应具有压应力。本发明提出的红外传感器开关器件结构简单实用，体积小，且制作工艺简单，同时巧妙利用了双材料悬臂梁的残余应力来进行工作。 |
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