| 专利名称 | 用于圆片上光敏BCB显影的夹具 | 申请号 | CN201220413352.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202736903U | 公开（授权）日 | 2013.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 孙晓玮;吕文倩;陈敏华;吴亮 | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 专利有效期 | 用于圆片上光敏BCB显影的夹具 至用于圆片上光敏BCB显影的夹具 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于：该夹具包括手柄（1）、连接杆（2）、大圆环（4）、小圆环（5）以及若干固定连接杆（3），所述大圆环（4）与小圆环（5）平行设置并通过所述若干固定连接杆（3）连接；所述连接杆（2）一端与所述大圆环（4）连接，另一端与所述手柄（1）连接。本实用新型解决了现有光敏BCB显影操作麻烦，显影时间不能得到有效控制从而造成光敏BCB的显影不充分或者过显的问题，使光敏BCB显影操作更加简便，BCB显影的时间得以精确控制。 |
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