| 专利名称 | 一种高精度纳米间距检测装置及检测方法 | 申请号 | CN201210428399.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102927923A | 公开（授权）日 | 2013.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 鱼卫星;王二伟;王成;孙强 | 主分类号 | G01B11/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高精度纳米间距检测装置及检测方法 至一种高精度纳米间距检测装置及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种高精度纳米间距检测装置及检测方法，属于纳米光刻技术领域，为解决现有技术对纳米间距测量精度低的问题，本发明中激光器发出的光线依次经过扩束装置、第一分束器、第二分束器、透镜、透光镜和反射镜；光经过第一分光器时部分光被反射，第一检偏器接收第一分束器反射出来的光线，光线经过第一检偏器后被第一光电探测器接收，第一光电探测器将采集到的信息传给计算机；反射镜反射回来的光线入射到第二分束器，SPR传感器接收第二分束器反射出来的光线，光线经过SPR传感器后入射到第二检偏器上，光线经过第二检偏器后被第二光电接收器接收，第二光电接收器将采集到的信息传给计算机，由计算机得出反射镜的位移量，实现高精度纳米间距检测。 |
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