| 专利名称 | 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪 | 申请号 | CN201110227518.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102921675A | 公开（授权）日 | 2013.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王守国;贾少霞;赵玲利 | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B7/00(2006.01)I;H05H1/30(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 专利有效期 | 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪 至一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、一个接地电极、一个射频电源，其特征在于：该喷枪壳体为金属板，四周密封连接，上端为进气端，下端为喷气口，两个射频电极被壳体围在喷枪内部，介质阻挡层包裹着两个射频电极，喷枪金属壳体作为接地电极保持接地，两个射频电极之间有一条缝隙，工作气体采用氩气和氧气的混合气体，工作气体从两个射频电极之间的缝隙喷出，常压下，当射频电极与射频电源连接时，在射频电极的下面会产生大面积的辉光等离子体，等离子体中的自由基束流与被清洗的物体表面进行反应，由于大部分等离子体在介质阻挡层下面产生，降低了金属污染。 |
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